比瑟奴(厦门)润滑科技有限公司
高温润滑脂 , 低温润滑脂 , 航空润滑脂 , 真空润滑脂
半导体行业无尘室真空润滑脂的应用
发布时间:2024-05-02

Zui近几年我国信息产业得到惊人的发展,半导体、液晶制造行业的轴承、滚珠丝杠、直线导轨的使用量急剧增加。在这些产品的制造设备中滚珠丝杠和轴承在运转时润滑脂会出现飞溅,如附着到晶体片产品上的话,就是使产品失去价值,因此需要开发新型清洁用润滑脂的要求越来越强烈。现在不仅仅在真空环境,常压环境下使用的半导体、液晶显示器制造设备的滚珠丝杠和轴承大多都使用蒸发量少的耐真空全氟素系润滑脂。但是,一般的氟素系润滑脂都使用粘度较高的基础油,并且几乎不配合防锈剂使用。从而导致并不能适用于大多数高速运转的轴承及丝杆和导轨使用。特别用于无尘技术的需求。这表明无尘室润滑脂不仅具有摩擦学特性而且满足无尘技术的特殊需求,如颗粒的数量和大小。为了改善这些问题,比瑟奴开发了低产尘量、耐磨损,耐蚀性俱佳,且兼备低摩擦力矩的系列润滑脂。该产品是专门为半导体微电子和洁净室应用设计的,对金属元素和其他污染物敏感。比瑟奴 C.GREASE-700高清洁度无尘室润滑脂不使用包含锂,钼,钙,铝,钡,锌或钠作为标准元素的成分。 这些元素通常存在于其他润滑脂中,并且含量较高。

因此比瑟奴无尘室润滑脂根据以上两点进行分类。

无尘特性1062279123.jpg

微粒发散行为和微粒大小分布结果在标准环境下确定。一种半导体检测设备的晶片定位部件作为测试标准。工业中的许多产品(如微电子和光学工业)对于颗粒污染变得越来越敏感。为了降低颗粒污染,这就意味着需要高无尘等级的产品。在生产过程中生产环境的清洁只有通过生产设备,产生和释放尽可能少的颗粒物来保证。设计和操作的设备根据无尘室适合性的需求来满足这个要求。

因为典型的设备需要被润滑如发动机,发动机传输部件或轴承,合适的无尘室润滑剂的选择变得尤为重要。

以下你可以发现适宜无尘室润滑剂的重要标准:

- 很大的降低润滑部件的磨损

- 较小的颗粒发散和滴漏倾向

- 微小的气体污染或挥发

- 抗老化(UV)

- 高抵抗润滑部件材料和环境介质

- 很少数量的外来颗粒

来自滚动轴承的发尘量

附有非接触式橡胶密封圈的小型轴承695W(内径5mm、外径13mm、宽度4mm)在3600rpm下运转的润滑脂产尘量。与市售润滑脂相比,比瑟奴显示出良好的低产尘量。在市售的润滑脂中,酸性油-锂基润滑脂B产尘量格外多,矿物油锂基润滑脂A,合成聚脲基EA2润滑脂产尘量逐渐减少。氟素系润滑脂随着品牌名称的不同而具有较大差异(市售C、D润滑脂)。因为聚脲系润滑脂在市售润滑脂中产尘量相对较少,针对上述EA2润滑脂与尿素系润滑脂构造不同的酸性尿素系润滑脂G进行了试探性评价。同样在相同的轴承,5400rpm下运转250小时,聚脲系润滑脂G在运转初期与比瑟奴润滑脂显示出相同的产尘量,但再经过一段时间的运转后产尘量急剧增大。


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